本发明提供能够形成斥水斥油性、耐摩擦性、指纹污迹除去性、润滑性以及外观优良的表面层的表面处理剂。所述表面处理剂含有以A1-O-(Rf1O)m1-Q1-[C(O)N(R1)]p1-R11-C[-R12-SiR13n1X13-n1]3表示的含氟醚化合物。其中，A1：碳数1～20的全氟烷基，Rf1：不具有分支结构的氟代亚烷基，m1：2～210的整数，(Rf1O)m1由同1种或2种以上的Rf1O形成，Q1：单键或不具有分支结构的氟代亚烷基，R1：氢原子等，p1：0或1，R11：单键、亚烷基等，R12：亚烷基等，R13：1价烃基等，X1：水解性基团，n1：0～2的整数，3个[-R12-SiR13n1X13-n1]全为相同的基团或不同的基团。