本发明提供了一种加热辅助化学机械复合磨料流抛光装置及方法，包括液压系统、温度测量与反馈控制系统、加热系统、氧化剂注入系统、氧化剂排出系统、磨料、上磨料缸、下磨料缸、上活塞、下活塞以及夹具；夹具连接上磨料缸、下磨料缸，上磨料缸、下磨料缸内分别设置有上活塞、下活塞，上活塞、下活塞分别连接液压系统并能够在液压系统的作用下往复运动，磨料设置在上磨料缸和/或下磨料缸内；夹具夹持区域内为抛光反应区，温度测量与反馈控制系统能够控制加热系统对抛光反应区加热的温度；氧化剂注入系统和氧化剂排出系统分别能够向上下磨料缸注入和排出氧化剂。本发明采用机械抛光结合化学抛光再通过加热辅助的方式，提高了抛光的效率和质量。