发明公开
CN111739952A 光探测器及制作方法
审中-实审
- 专利标题： 光探测器及制作方法
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申请号： CN202010561351.5申请日： 2020-06-18
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公开(公告)号： CN111739952A公开(公告)日： 2020-10-02
- 发明人: 李彬 , 陈小梅 , 牛玉秀 , 官成钢
- 申请人： 武汉光迅科技股份有限公司
- 申请人地址： 湖北省武汉市洪山区邮科院路88号
- 专利权人： 武汉光迅科技股份有限公司
- 当前专利权人： 武汉光迅科技股份有限公司
- 当前专利权人地址： 湖北省武汉市洪山区邮科院路88号
- 代理机构： 北京派特恩知识产权代理有限公司
- 代理商 张李静; 张颖玲
- 主分类号： H01L31/0232
- IPC分类号： H01L31/0232 ; H01L31/105 ; H01L31/18
摘要：
本公开是关于一种光探测器以及制作方法。该光探测器包括衬底；在所述衬底的第一表面上具有功能层；所述功能层至少包含：进行光电转换的光吸收层；在所述衬底的第二表面上具有将光线反射回所述光吸收层的光反射层；所述第二表面为所述第一表面的相反面，如此，通过光反射层对进入探测器内未被光吸收层吸收的光进行反射使之再次进入光吸收层，以提高探测器对光的灵敏度。