本发明涉及一种电气绝缘设备金属表面处理防止C5F10O气体腐蚀的方法，步骤如下：1)对电气绝缘设备接触C5F10O气体的部件表面进行清洗，除去部件表面油污；2)对部件进行活化处理，活化部件金属表面；3)在部件表面镀铝；4)对部件表面进行氧化处理，在部件表面形成一层致密的氧化铝薄膜。本方法可以有效地防止气体绝缘介质C5F10O在较高温度时腐蚀电气绝缘设备内部的金属材料，延长电气绝缘设备使用寿命，同时，防止C5F10O与金属材料反应分解，保证绝缘气体的电气绝缘水平，避免影响电气设备的正常工作运行，防止产生毒性气体，并且操作流程简单，具有很好的工程应用价值。