一种非球面超高分辨KB显微镜的装调装置和装调方法
Abstract:
本发明涉及一种非球面超高分辨KB显微镜的装调装置和装调方法,装置包括调整组件及设于调整组件上的反射镜组件,调整组件包括定位杆、光学导轨、光学调整架和两台自准直仪,两台自准直仪安装在光学导轨两端,定位杆设于光学导轨上并可在光学导轨上滑动,光学调整架安装在光学导轨上,反射镜组件包括设于光学调整架上的镜框、顶靠在所述镜框上的两块非球面的反射镜、两块光学锥芯镜框和两个镜框附件,每块反射镜通过一块光学锥芯和一个镜框附件顶靠在镜框上,每块反射镜与其对应的光学锥芯相接触,每块光学锥芯与一台自准直仪对应设置。与现有技术相比,本发明具有提高精度,提高实验效率等优点。
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