Invention Grant
- Patent Title: 一种非球面超高分辨KB显微镜的装调装置和装调方法
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Application No.: CN202010607835.9Application Date: 2020-06-30
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Publication No.: CN111766713BPublication Date: 2021-07-20
- Inventor: 穆宝忠 , 李文杰 , 徐捷 , 徐欣业 , 王新
- Applicant: 同济大学
- Applicant Address: 上海市杨浦区四平路1239号
- Assignee: 同济大学
- Current Assignee: 同济大学
- Current Assignee Address: 上海市杨浦区四平路1239号
- Agency: 上海科盛知识产权代理有限公司
- Agent 叶敏华
- Main IPC: G02B27/62
- IPC: G02B27/62 ; G02B7/182 ; G02B5/10 ; G02B21/04
Abstract:
本发明涉及一种非球面超高分辨KB显微镜的装调装置和装调方法,装置包括调整组件及设于调整组件上的反射镜组件,调整组件包括定位杆、光学导轨、光学调整架和两台自准直仪,两台自准直仪安装在光学导轨两端,定位杆设于光学导轨上并可在光学导轨上滑动,光学调整架安装在光学导轨上,反射镜组件包括设于光学调整架上的镜框、顶靠在所述镜框上的两块非球面的反射镜、两块光学锥芯镜框和两个镜框附件,每块反射镜通过一块光学锥芯和一个镜框附件顶靠在镜框上,每块反射镜与其对应的光学锥芯相接触,每块光学锥芯与一台自准直仪对应设置。与现有技术相比,本发明具有提高精度,提高实验效率等优点。
Public/Granted literature
- CN111766713A 一种非球面超高分辨KB显微镜的装调装置和装调方法 Public/Granted day:2020-10-13
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