摘要:
本发明公开的基于光学传递函数同时测量倾斜角和绝对距离的方法,属于光电测量技术领域。本发明实现方法为:两束带有相位的光波聚焦在焦平面上发生干涉‑衍射或衍射现象,焦平面上的光强分布即为PSF,对PSF进行傅里叶变换得到OTF。选取单色光条件下OTF的一个侧峰对其虚部实部求比值得对应的侧峰相位传递函数,计算相位传递函数的梯度值,利用梯度值再计算出被测子镜的倾斜角,实现倾斜角测量。选取微分求和方法处理后的宽光谱条件下的光学传递函数OTF的一个侧峰取模得到对应的侧峰调制传递函数,归一化处理得MTFnph,通过分段四次拟合得到MTFnph与绝对距离的函数关系,根据所得函数关系求得绝对距离值,实现绝对距离的不受倾斜角误差影响的高精度测量。
公开/授权文献
- CN111811474A 基于光学传递函数同时测量倾斜角和绝对距离的方法 公开/授权日:2020-10-23