本发明提供一种提高板条键合面光斑扫描测量分辨率的方法，本发明属于键合激光板条晶体的质量检测领域，板条键合面测量装置基于光纤白光干涉系统，通过光纤探头出射的光斑对键合面扫描，干涉探测获取键合面反射率信息，针对传统光斑检测方法分辨率受限于光斑尺寸的问题，提出利用光纤探头出射光束在轴向不同距离处的光强分布变化，进行“米”字路径光斑堆叠式扫描，在截面横向的四个角度上，实现不同距离位置处的反射率结果变化分析，有效推算出更高分辨率的反射率分布情况，同时对待测微尺寸键合面区域进行缺陷表征。