本发明属于光学精密装调与检测领域，提供了一种用于Fery棱镜组件精密装调与检测的方法和系统。能够实现Fery曲面棱镜及组件的有效装调与检测，根据Fery棱镜的结构特殊性提出由三坐标测量机、PSM装调显微镜组成的系统。融合三坐标空间测量原理、PSM点源自准直原理和三维数学建模技术，通过三坐标测量机对各曲面棱镜组件进行精密测量获得点、线、圆柱等元素的坐标参数，并经PSM装调显微镜结合高精密旋转云台精密确定各曲面棱镜球心位置及偏角，计算机软件数据处理复现出Fery棱镜组件实际的装配效果，给出与理论模型之间的各方向偏移量，指导Fery棱镜组件的在线精密装调，通过组件方位旋转、修切垫修研完成Fery棱镜组件的精密装配和检测工作。