发明授权
- 专利标题： 低溅射交叉场气体开关及操作方法
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申请号： CN201980021415.8申请日： 2019-03-22
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公开(公告)号： CN111868872B公开(公告)日： 2024-03-08
- 发明人: T·J·索默雷尔 , S·塞列斯内瓦
- 申请人： 通用电气技术有限公司
- 申请人地址： 瑞士巴登
- 专利权人： 通用电气技术有限公司
- 当前专利权人： 通用电气技术有限公司
- 当前专利权人地址： 瑞士巴登
- 代理机构： 北京康信知识产权代理有限责任公司
- 代理商 沈丹阳
- 优先权： 15/933602 2018.03.23 US
- 国际申请： PCT/US2019/023510 2019.03.22
- 国际公布： WO2019/183435 EN 2019.09.26
- 进入国家日期： 2020-09-23
- 主分类号： H01J17/14
- IPC分类号： H01J17/14 ; H01T1/04 ; H01T2/02
公开/授权文献
- CN111868872A 低溅射交叉场气体开关及操作方法 公开/授权日：2020-10-30
