本发明公开了一种STM‑MBE联用系统，包括进样腔体、样品制备腔体、样品表征腔、支撑台以及烘烤系统。其中表征腔是直接购买的商用STM进样腔，可以实现在进样腔内很好的对样品进行解离、转移、以及沉积一些易污染真空的小分子。制备腔采用了预留下置圆形对称排列的窗口用于放置蒸发源，一次同时可以放置七个蒸发源，另外制备腔体采用了分子泵直接安装于离子泵后面的方式，可以实现分子泵对制备腔体的直抽，提高制备腔体的真空度，同时制备腔体预留了相比于以往的制备腔体，预留了更多的窗口，使其具有更多升级的空间，以及根据实验需要变化的可能性。烘烤系统，采用了外置进样腔的烘烤模式，且烘烤板采用双开门设计易于拆卸安装。具有更多的自我组装空间。