基于非对称金属光栅结构的SPP耦合器及制作方法
摘要:
本申请公开了一种基于非对称金属光栅结构的SPP耦合器及制作方法,其SPP耦合器当入射光通过介质填充层后进入介质光栅层,通过设置非对称金属光栅结构为倒“L”字型结构或“Z”字型结构,从而使得入射光可以垂直射入衬底,激发SPP,无需倾斜入射激发,可大幅降低外置光路的复杂性;而介质光栅层具有若干个周期性的介质光栅,周期性的介质光栅结构可以实现较高的光耦合效率,且可以较好的将入射光限制于衬底内进行单向传播,从而可以提高光耦合效率与单向比,另外,本实施例的SPP耦合器结构简单,制作难度低,适于批量生产。
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