本发明公开了属于溅射靶材加工技术领域的一种从钎焊贵金属残靶中回收贵金属的方法，包括：S1)提供靶材组件，所述靶材组件包括贵金属靶面和与所述靶面钎焊的背板，使用物理方法将所述靶材的靶面与背板分离；S2)重复将贵金属靶面浸入酸溶液，使焊料从靶面彻底分离；S3)将贵金属靶面先在超声波清洗机中清洗，然后在无水乙醇中漂洗后吹干，获得与残靶使用前纯度相同的贵金属。本发明提供的方法能够实现贵金属残靶再生利用的最大化，回收率达99.8％以上，获得与残靶使用前纯度相同的贵金属，可直接进行熔炼及再加工，回收率高，过程操作简单，能耗低，同时分离后的背板可以与新加工的贵金属靶面焊接，重复利用，节约成本。