本发明涉及材料制备技术领域，具体为一种氧化银薄膜的制备方法，包括如下步骤：A、准备实验箱，实验箱内安装有等离子发生器，将带有银膜的基片固定在实验箱内；B、对基片进行加热；C、向实验箱内冲入氧气或氧气与惰性气体的混合气体,给等离子发生器通电，产生氧等离子体；D、使带有银膜的基片浸润到等离子体中，银膜在氧等离子体的作用下形成薄膜。本发明制备出来的氧化银薄膜具有不同的纳米结构，能够解决普通致密薄膜应用时比表面积低、反应位点少的问题。