本发明公开一种用于高世代TFT基板玻璃面研磨的恒压压合装置，包括竖直的压合气缸，压合气缸的活塞杆连接压合辊，压合辊外套设有压合缓冲垫；所述压合气缸的进气口连接进气管、出气口连接排气管，进气管通入压缩空气控制压合辊下降，排气管排出空气控制压合辊上升；进气管设有进气比例阀，根据压合辊下方需压合的玻璃的厚度，进气比例阀调节进气压力，使压合辊作用于玻璃表面的压力保持均匀的恒压；本发明舍弃传统的控制压合高度的方式，在玻璃的厚度发生改变时，采用进气比例阀控制压合辊的下压压力，使压合辊作用于玻璃表面的压力保持均匀的恒压，无需人工调整，且不会出现玻璃从吸附垫上剥离困难的问题，也不会产生剥离破损的问题。