本发明公开了一种用于质谱分析仪的真空紫外光电离源，加热装置包括离子源加热体、隔热环、离子源固定法兰与锥孔电极；电离装置包括光源固定法兰、离子源导热环、电极固定法兰、电离组件、离子源固定螺栓与离子源密封螺栓，电离装置设有若干个安装孔，安装孔在光源固定法兰的部分设有螺纹；离子源密封螺栓为若干个，离子源密封螺栓穿过安装孔依次将电极固定法兰、离子源导热环和光源固定法兰固定；电离装置还设有若干个固定孔，隔热环及离子源固定法兰设有若干个固定螺纹孔，离子源固定螺栓从光源固定法兰一端穿过固定孔与固定螺纹孔连接。本发明可以解决难挥发性分析物样品的残留问题，并具备易拆卸的特点，从而提升对难挥发性样品的检测性能。