- 专利标题： 感光性树脂组合物、固化膜、层叠体及它们的制造方法、半导体器件及在它们中使用的热产碱剂
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申请号： CN201980022753.3申请日： 2019-03-26
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公开(公告)号： CN111919172A公开(公告)日： 2020-11-10
- 发明人: 井上遥菜 , 青岛俊荣 , 福原敏明
- 申请人： 富士胶片株式会社
- 申请人地址： 日本国东京都
- 专利权人： 富士胶片株式会社
- 当前专利权人： 富士胶片株式会社
- 当前专利权人地址： 日本国东京都
- 代理机构： 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 薛海蛟
- 优先权： 2018-065762 2018.03.29 JP
- 国际申请： PCT/JP2019/012740 2019.03.26
- 国际公布： WO2019/189111 JA 2019.10.03
- 进入国家日期： 2020-09-27
- 主分类号： G03F7/004
- IPC分类号： G03F7/004 ; C08G73/06 ; G03F7/027 ; G03F7/20
摘要：
本发明提供一种感光性树脂组合物、固化膜、层叠体及它们的制造方法、半导体器件及在它们中使用的热产碱剂，上述感光性树脂组合物含有特定的热产碱剂、选自由聚酰亚胺前体及聚苯并噁唑前体组成的组中的至少一种聚合物前体及感光剂，上述聚合物前体及上述感光剂中所含有的酸基和酸产生基团的合计含量为0.5mmol/g以下。
IPC分类:
