本发明提供一种建模方法，包括：S1）设计具有源极、漏极、栅极的测试结构，并对测试结构进行测试，得到测试数据；S2）根据所述测试数据提取模型参数；S3）基于源漏电压与漏电流的关系对所述模型参数的物理特性的合理性进行验证，验证合格则建立模型文件并执行步骤S4），验证不合格则返回步骤S2）调整模型参数，直至验证合格；S4）对所述模型文件进行质量保证检查，若检查合格则建模完成，若检查不合格则返回步骤S2）调整模型参数，直至检查合格。本发明在提取模型参数后进行物理合理性验证，能快速检验模型参数是否错误并及时有效的调整模型参数，比传统建模流程更高效和找准问题所在点，可大大加快项目的进度，节约研发成本。