三维存储器设备的接合开口结构及其形成方法
Abstract:
本发明提出了一种3D存储器设备的接合开口结构和其制造方法。此接合开口结构包括穿过第一堆叠层与第一绝缘连接层的第一通孔、位于该第一通孔的底部的第一沟道结构、位于该第一通孔的侧壁上的第一功能层、位于该第一功能层的侧壁上的第二沟道结构、在该第一通孔上方的第三沟道结构、位于该第三沟道结构上的第二堆叠层、位于该第二堆叠层上的第二绝缘连接层、穿过该第二堆叠层与该第二绝缘连接层的第二通孔、设置在该第二通孔的侧壁上的第二功能层、位于该第二功能层的侧壁上的第四沟道结构、以及在该第二通孔上的第五沟道结构。
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