本发明涉及一种工业氢气中微量氧气、氩气、氮气、一氧化碳、甲烷和二氧化碳的分析方法，属于气相色谱分析技术应用领域，包括第一PQ预处理柱1、第一分子筛分析柱、第二分子筛分析柱、第二PQ预处理柱、十通阀、第一六通阀、第二六通阀、第一载气管、第二载气管、第三载气管、热导检测器。本发明具有以下优点：将GB/T3634.2-2006方法中TDX色谱柱更换为5A分子筛或13X分子筛，同时将原有高纯氢气作为三路载气调整为两路高纯氩气和一路高纯氢气作为载气避免了TDX色谱柱在使用过程中因老化而无法正常分离氧氩峰和氮气峰的缺陷，将脱氧柱更换为分子筛分析柱，解决因工艺中氧含量相对较高，其脱氧负荷较大，脱氧柱的老化频次较高，维护工作量较大等问题。