本发明实施例涉及一种非侵入式微型传感器的谐波检测装置、方法及终端设备，包括微控制单元以及与微控制单元连接的检测传感单元、取能单元和通信单元，通过基于磁隧道结效应的磁电阻的电流传感器和基于MEMS电场芯片或电容分压原理的电压传感器对电力系统设备进行非接触式测量电流电压，降低检测装置的安装难度，采用设置的检测传感单元、取能单元和通信单元减小该检测装置的体积，采用通信单元实现无线通信传输，减少了该检测装置电缆的连线，有利于该检测装置的远程升级和运维，解决了现有谐波识别和检测装置体积大，接触式测量不便于安装与维修的技术问题。