双机制等离增强的Ge基红外通信波段光电探测器及方法
摘要:
本发明公开了一种双机制等离增强的Ge基红外通信波段光电探测器,包括:本征Ge衬底层(1);纳米线阵列(2),所述纳米线阵列(2)的长度方向平行于所述本征Ge衬底层(1)的长度方向、且所述纳米线阵列(2)设置于所述本征Ge衬底层(1)之上;光栅(3),所述光栅(3)设置于所述纳米线阵列(2)之上;第一电极(4)、第二电极(5),沿所述本征Ge衬底层(1)长度方向,所述第一电极(4)和第二电极(5)对称设置于所述纳米线阵列(2)两端的所述本征Ge衬底层(1)之上。本发明提出一种双机制等离增强的Ge基红外通信波段光电探测器,利用金属表面等离共振提高吸收系数,进一步提高Ge系探测器在红外通信波段的响应度,实现高性能的Ge基红外通信波段光电探测器。
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