发明公开
- 专利标题: 双机制等离增强的Ge基红外通信波段光电探测器及方法
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申请号: CN202010663733.9申请日: 2020-07-10
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公开(公告)号: CN111952386A公开(公告)日: 2020-11-17
- 发明人: 王利明 , 王博 , 张一驰 , 魏颖 , 胡辉勇 , 王斌 , 韩本光 , 舒斌
- 申请人: 西安电子科技大学
- 申请人地址: 陕西省西安市雁塔区太白南路2号
- 专利权人: 西安电子科技大学
- 当前专利权人: 西安电子科技大学
- 当前专利权人地址: 陕西省西安市雁塔区太白南路2号
- 代理机构: 西安嘉思特知识产权代理事务所
- 代理商 李园园
- 主分类号: H01L31/0352
- IPC分类号: H01L31/0352 ; H01L31/103 ; H01L31/18
摘要:
本发明公开了一种双机制等离增强的Ge基红外通信波段光电探测器,包括:本征Ge衬底层(1);纳米线阵列(2),所述纳米线阵列(2)的长度方向平行于所述本征Ge衬底层(1)的长度方向、且所述纳米线阵列(2)设置于所述本征Ge衬底层(1)之上;光栅(3),所述光栅(3)设置于所述纳米线阵列(2)之上;第一电极(4)、第二电极(5),沿所述本征Ge衬底层(1)长度方向,所述第一电极(4)和第二电极(5)对称设置于所述纳米线阵列(2)两端的所述本征Ge衬底层(1)之上。本发明提出一种双机制等离增强的Ge基红外通信波段光电探测器,利用金属表面等离共振提高吸收系数,进一步提高Ge系探测器在红外通信波段的响应度,实现高性能的Ge基红外通信波段光电探测器。
IPC分类: