Invention Grant
- Patent Title: 一种声振测量用压电换能单元结构
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Application No.: CN202010836735.3Application Date: 2020-08-19
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Publication No.: CN111952435BPublication Date: 2022-03-29
- Inventor: 耿进锋 , 孙晓光 , 赵寿生 , 姚德贵 , 聂京凯 , 王轲 , 张嵩阳 , 王磊磊 , 汲胜昌 , 肖伟民
- Applicant: 国网河南省电力公司电力科学研究院 , 全球能源互联网研究院有限公司 , 国家电网有限公司
- Applicant Address: 河南省郑州市二七区嵩山南路85号; ;
- Assignee: 国网河南省电力公司电力科学研究院,全球能源互联网研究院有限公司,国家电网有限公司
- Current Assignee: 国网河南省电力公司电力科学研究院,全球能源互联网研究院有限公司,国家电网有限公司
- Current Assignee Address: 河南省郑州市二七区嵩山南路85号; ;
- Agency: 苏州知途知识产权代理事务所
- Agent 张锦波
- Main IPC: H01L41/053
- IPC: H01L41/053 ; H01L41/09 ; H01L41/113
Abstract:
本申请涉及一种声振测量用压电换能单元结构，包括硅基片，位于所述硅基片上的支撑层，以及位于所述支撑层上的压电振膜，所述压电振膜包括下电极层、压电层和上电极层，所述压电层位于上电极层和下电极层之间，所述硅基片开设有阵列式的凹槽，所述凹槽与所述支撑层构成半封闭的空腔；所述支撑层上开设有缝隙，所述缝隙直通至硅基片，并与所述空腔相错开。本申请可以提高压电换能器的灵敏度，同时提升能量收集效率。
Public/Granted literature
- CN111952435A 一种声振测量用压电换能单元结构 Public/Granted day:2020-11-17
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IPC分类:
