发明授权
- 专利标题: 一种高反射样品激光损伤阈值测试装置
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申请号: CN202010724982.4申请日: 2020-07-24
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公开(公告)号: CN112033644B公开(公告)日: 2022-11-08
- 发明人: 白芳 , 麻云凤 , 樊仲维 , 程旺 , 宫学程
- 申请人: 中国科学院空天信息创新研究院
- 申请人地址: 北京市海淀区北四环西路19号
- 专利权人: 中国科学院空天信息创新研究院
- 当前专利权人: 中国科学院空天信息创新研究院
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区北四环西路19号
- 代理机构: 北京理工大学专利中心
- 代理商 李微微
- 主分类号: G01M11/02
- IPC分类号: G01M11/02
摘要:
本发明公开了一种高反射样品激光损伤阈值测试装置,通过采用光楔补偿光程,使得作用在样品表面的光斑大小始终一致,保证阈值测试的精度;计算机实时采集激光器输出能量、辐照在样品表面激光能量和光斑大小等数据,通过计算获得激光作用能量密度或功率密度。此外,用CCD拍摄记录激光在样品上作用点的图像,记录有损伤的图样数,计算不同能量密度条件下激光损伤概率,画出损伤概率图,得出光学元器件激光损伤阈值。本发明装置实现了测试系统的集成化、自动化,能够在线实时快速准确判别光学元器件膜层损伤,并且自动给出损伤概率图,出具检测报告;对于样品的放置角度较大时,本发明可通过对向移动双光楔,实现作用在样品表面的光斑大小始终一致。
公开/授权文献
- CN112033644A 一种高反射样品激光损伤阈值测试装置 公开/授权日:2020-12-04