一种高反射样品激光损伤阈值测试装置
摘要:
本发明公开了一种高反射样品激光损伤阈值测试装置,通过采用光楔补偿光程,使得作用在样品表面的光斑大小始终一致,保证阈值测试的精度;计算机实时采集激光器输出能量、辐照在样品表面激光能量和光斑大小等数据,通过计算获得激光作用能量密度或功率密度。此外,用CCD拍摄记录激光在样品上作用点的图像,记录有损伤的图样数,计算不同能量密度条件下激光损伤概率,画出损伤概率图,得出光学元器件激光损伤阈值。本发明装置实现了测试系统的集成化、自动化,能够在线实时快速准确判别光学元器件膜层损伤,并且自动给出损伤概率图,出具检测报告;对于样品的放置角度较大时,本发明可通过对向移动双光楔,实现作用在样品表面的光斑大小始终一致。
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