发明公开
- 专利标题: 基于HTCC工艺的三维垂直互联结构及其制备方法
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申请号: CN202010733315.2申请日: 2020-07-27
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公开(公告)号: CN112038319A公开(公告)日: 2020-12-04
- 发明人: 厉志强 , 张帅 , 乔明昌
- 申请人: 中国电子科技集团公司第十三研究所
- 申请人地址: 河北省石家庄市合作路113号
- 专利权人: 中国电子科技集团公司第十三研究所
- 当前专利权人: 中国电子科技集团公司第十三研究所
- 当前专利权人地址: 河北省石家庄市合作路113号
- 代理机构: 石家庄国为知识产权事务所
- 代理商 付晓娣
- 主分类号: H01L23/498
- IPC分类号: H01L23/498 ; H01L23/66 ; H01L23/552 ; H01L21/48
摘要:
本发明提供了一种基于HTCC工艺的三维垂直互联结构及其制备方法,属于微波毫米波及太赫兹技术领域。基于HTCC工艺的三维垂直互联结构包括基板组和两个微带线,基板组上设置有由上至下垂直贯穿基板组的信号传输通孔、以及环绕信号传输通孔设置的多个屏蔽通孔,多个屏蔽通孔与信号传输通孔形成类同轴结构,用于屏蔽电磁干扰,多个屏蔽通孔和信号传输通孔内分别填充有导电体,两个微带线通过位于信号传输通孔内的导电体实现信号传输。本发明还提供了一种基于HTCC工艺的三维垂直互联结构的制备方法。本发明提供的基于HTCC工艺的三维垂直互联结构及其制备方法,有效降低了信号泄漏风险,避免了外界电磁干扰对微波信号传输造成不良影响。
IPC分类: