发明公开
- 专利标题： 用于基于过程参数标记衬底的方法
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申请号： CN201980028052.0申请日： 2019-03-04
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公开(公告)号： CN112088337A公开(公告)日： 2020-12-15
- 发明人: V·巴斯塔尼 , A·雅玛
- 申请人： ASML荷兰有限公司
- 申请人地址： 荷兰维德霍温
- 专利权人： ASML荷兰有限公司
- 当前专利权人： ASML荷兰有限公司
- 当前专利权人地址： 荷兰维德霍温
- 代理机构： 北京市金杜律师事务所
- 代理商 董莘
- 优先权： 18182594.4 20180710 EP 62/663,866 20180427 US
- 国际申请： PCT/EP2019/055262 2019.03.04
- 国际公布： WO2019/206498 EN 2019.10.31
- 进入国家日期： 2020-10-23
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20 ; G05B19/418
摘要：
公开了一种对与经历制造过程的过程步骤的衬底相关联的数据进行分组的方法。该方法包括：在经历过程步骤之前，获取与衬底相关联的第一数据，以及在经历过程步骤之后，获取与衬底相关联的第二数据的多个集，第二数据的每个集与第一数据的特性的不同值相关联。确定描述第二数据的多个集之间的距离的测量的距离度量；并且基于距离度量的性质对第二数据分组。
公开/授权文献
- CN112088337B 用于基于过程参数标记衬底的方法 公开/授权日：2023-07-11
IPC分类:
