本公开揭示了一种基于太赫兹波诱导的微型机器人，包括基底，基底上粘贴有吸波发热变形层，吸波发热变形层至少包括具有不同太赫兹波响应频率的第一吸波单元和第二吸波单元，第一吸波单元和第二吸波单元两侧分别粘贴有第一发热变形单元和第二发热变形单元；第一吸波单元和第二吸波单元分别用于吸收频率与其各自响应频率相同的太赫兹波并转化为热能；第一发热变形单元和第二发热形变单元分别通过吸收由第一吸波单元或第二吸波单元产生的热能产生热应力，并连同基底一起发生非对称形变，在形变复原的过程中促使微型机器人向第二吸波单元活第一吸波单元所在方位运动。