一种柔性热对流加速度传感器
摘要:
本发明公开了一种柔性热对流加速度传感器,属于传感器技术领域。该传感器包括由上至下四层结构,分别为导流层1、中间隔板2、粘结层3、柔性基底层4;所述粘结层3中心开有隔热腔5;由于气体导热速率远高于固体导热速率;所述中间隔板上表面贴有加热器6与一对感温元件7,下表面贴有加热补偿8;所述导流层1内设与感温元件7垂直的水平贯穿通道,通道高度为导流层厚度,通道两端开口呈锥形。本发明在继承了微机械热对流传感器优势的基础上,进一步提高了热对流传感器的灵敏度。
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