发明授权
CN1121713C 管芯接合装置
失效 - 权利终止
- 专利标题: 管芯接合装置
- 专利标题(英): Die bonding apparatus
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申请号: CN98120953.X申请日: 1998-10-14
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公开(公告)号: CN1121713C公开(公告)日: 2003-09-17
- 发明人: 金声峰 , 廉明圭
- 申请人: 三星电子株式会社
- 申请人地址: 韩国京畿道
- 专利权人: 三星电子株式会社
- 当前专利权人: 三星电子株式会社
- 当前专利权人地址: 韩国京畿道
- 代理机构: 北京市柳沈律师事务所
- 代理商 李晓舒
- 优先权: 11638/1998 1998.04.02 KR
- 主分类号: H01L21/50
- IPC分类号: H01L21/50 ; H01L21/52 ; H01L21/58
摘要:
一种管芯接合装置,在把作为记忆元件的半导体芯片的晶片结合到引线框上时,只要简单地调节控制机能就能有选择地完成LOC管芯接合工序和标准管芯接合工序,提高装备的使用效率,大幅度降低装备成本。本发明的管芯接合装置包括引线框供给部、框输送部、框固定部、Ag环氧树脂供给部、用推片使由上述框输送部输送的引线框向预热部移动的移动部、晶片供给部、晶片装填部、管芯输送部、管芯接合部和自动加料器。
公开/授权文献
- CN1230772A 管芯接合装置 公开/授权日:1999-10-06
IPC分类: