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发明授权
CN112180508B 一种片上集成基于硅基波导的TM0-TM3模序数转换器 有权

  • 专利标题： 一种片上集成基于硅基波导的TM0-TM3模序数转换器
  • 申请号： CN202011022928.1
    申请日： 2020-09-25
  • 公开(公告)号： CN112180508B
    公开(公告)日： 2021-06-04
  • 发明人: 徐银 , 朱晨曦 , 倪屹
  • 申请人： 江南大学
  • 申请人地址： 江苏省无锡市滨湖区蠡湖大道1800号
  • 专利权人： 江南大学
  • 当前专利权人： 江南大学
  • 当前专利权人地址： 江苏省无锡市滨湖区蠡湖大道1800号
  • 代理机构： 南京禹为知识产权代理事务所
  • 代理商 刘小莉
  • 主分类号： G02B6/14
  • IPC分类号： G02B6/14
一种片上集成基于硅基波导的TM0-TM3模序数转换器
摘要：
本发明公开了一种片上集成基于硅基波导的TM0‑TM3模序数转换器，其包括单质Si材质的下包层以及氧化硅材质的衬底层和硅基波导层还有将所述硅基波导层包裹起来的氯化硅材质的上包层；其通过在硅基波导层上刻蚀六组具有相同刻蚀深度但尺寸不同的矩形刻蚀槽达到了插入损耗低，模阶数转换效率高以及便于制造，尺寸缩小等优点。
公开/授权文献
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