- 专利标题： 一种用于卡夹硅片的卡盘销及用于保持硅片的装置
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申请号： CN202011382851.9申请日： 2020-12-01
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公开(公告)号： CN112185885B公开(公告)日： 2021-07-16
- 发明人: 苏建生 , 吕天爽
- 申请人： 西安奕斯伟硅片技术有限公司
- 申请人地址： 陕西省西安市高新区西沣南路1888号
- 专利权人： 西安奕斯伟硅片技术有限公司
- 当前专利权人： 西安奕斯伟硅片技术有限公司
- 当前专利权人地址： 陕西省西安市高新区西沣南路1888号
- 代理机构： 西安维英格知识产权代理事务所
- 代理商 姚勇政; 李斌栋
- 主分类号： H01L21/687
- IPC分类号： H01L21/687
摘要：
本发明实施例公开一种用于卡夹硅片的卡盘销及硅片保持装置，所述卡盘销可以包括：从动部分；可拆分地装配至所述从动部分的抵接部分，其中，当所述从动部分被驱动时，所述抵接部分相对于所述硅片的周缘在第一位置与第二位置之间移动，在所述第一位置中，所述抵接部分抵接所述硅片的周缘以卡夹所述硅片，在所述第二位置中，所述抵接部分远离所述硅片的周缘以松开所述硅片。
公开/授权文献
- CN112185885A 一种用于卡夹硅片的卡盘销及用于保持硅片的装置 公开/授权日：2021-01-05
IPC分类:
