一种用于石英炉的气体冷却过滤装置
摘要:
本发明公开了一种用于石英炉的气体冷却过滤装置,其特征在于:包括气体冷却装置、气体过滤装置,所述气体冷却装置的进气端与所述石英炉的出气口连接,所述气体冷却装置的出气端与所述过滤装置的进气端连接,所述过滤装置的出气端与真空泵连接;所述气体过滤装置包括气体粉尘分离部和粉尘收集部,所述粉尘收集部与所述气体粉尘分离部通过可拆卸方式连接;所述气体粉尘分离部连接有气体过滤装置支撑架,以使所述粉尘收集部脱离地面。本发明结构设计合理,生产加工成本低,气体冷却过滤效果好,从气体中分离出来的粉尘收集方便。
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