Invention Grant
- Patent Title: 一种往复移动同步水平旋转的镀覆装置
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Application No.: CN202011053308.4Application Date: 2020-09-29
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Publication No.: CN112226806BPublication Date: 2021-07-06
- Inventor: 蒙铁桥 , 王争磊 , 第五方
- Applicant: 西安微电子技术研究所
- Applicant Address: 陕西省西安市雁塔区太白南路198号
- Assignee: 西安微电子技术研究所
- Current Assignee: 西安微电子技术研究所
- Current Assignee Address: 陕西省西安市雁塔区太白南路198号
- Agency: 西安通大专利代理有限责任公司
- Agent 陈翠兰
- Main IPC: C25D17/06
- IPC: C25D17/06 ; C25D21/10 ; C25D21/04 ; C25D7/00
Abstract:
本发明提供一种往复移动同步水平旋转的镀覆装置,包括安装架组件、水平旋转组件和水平往复移动组件;水平旋转组件包括上轴、同步轮、同步带固定杆和同步带;上轴上设置同步轮,同步带固定杆上固定安装同步带,所述同步轮与同步带啮合传动连接;上轴的下端悬挂连接安装架组件;所述水平往复移动组件包括移动极杆、阴极移动电机和摇杆;上轴通过轴承连接在移动极杆上,阴极移动电机通过摇杆与阴极极杆连接往复驱动;当移动极杆通过阴极移动电机驱动往复移动时,安装架组件随移动极杆往复移动,同时以上轴为中心做顺时针或逆时针旋转运动;该装置结构简单,使用方便,简化装夹过程,解决了现有技术中电机用量多、结构复杂、电机腐蚀的问题。
Public/Granted literature
- CN112226806A 一种往复移动同步水平旋转的镀覆装置 Public/Granted day:2021-01-15
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