发明公开
CN112281139A 一种化学气相沉积管式炉实验装置
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种化学气相沉积管式炉实验装置
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申请号: CN202011184500.7申请日: 2020-10-30
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公开(公告)号: CN112281139A公开(公告)日: 2021-01-29
- 发明人: 于彦龙 , 朱晶 , 孙宏宇 , 王俊 , 于翠艳 , 许涛
- 申请人: 东北石油大学
- 申请人地址: 黑龙江省大庆市高新技术开发区发展路199号东北石油大学
- 专利权人: 东北石油大学
- 当前专利权人: 东北石油大学
- 当前专利权人地址: 黑龙江省大庆市高新技术开发区发展路199号东北石油大学
- 代理机构: 黑龙江省百盾知识产权代理事务所
- 代理商 孙淑荣
- 主分类号: C23C16/44
- IPC分类号: C23C16/44
摘要:
本发明涉及化学气相沉积加工装置技术领域,且公开了一种化学气相沉积管式炉实验装置,包括支撑架,所述支撑架的上部固定连接有侧挡板,所述侧挡板内侧的下部安装有实验管式炉本体。该化学气相沉积管式炉实验装置,通过在物块放置板上部的中部安装有对个限位板,且限位板的上部为尖锐状,使得方便降低限位板与物块底部之间的接触面,同时增加装置使用时,方便与气体进行流通的作用,同时转动侧挡板一侧的螺纹杆,使得可带动侧挡板前后移动,使得方便带动侧挡板对物块进行夹持固定的作用,同时装置内部推动夹持板的下部安装有支撑杆,其中支撑杆活动套接在滑槽的内部,使得起到对装置侧挡板移动的位置进行限定。
公开/授权文献
- CN112281139B 一种化学气相沉积管式炉实验装置 公开/授权日:2021-07-16
IPC分类: