一种超洁净比例阀
摘要:
本发明提供一种超洁净比例阀,具有超洁净流室,通过内嵌永磁体和外部控制永磁体的配合方式设置磁力驱动组件,利用最小磁阻原理实现启闭阀口,对阀口位置可以实现精确控制;本发明的磁力驱动组件作动距离小,缩短阀口的启闭时间,响应速度快;可以对阀芯施加两个方向的驱动力,避免依赖流体冲击力开启阀芯时存在的可靠度不佳的问题;磁场的磁感线形成闭合回路,对磁场外部空间的干扰小,也避免环境中的磁体对本发明的影响。
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