校正沿着光束传播方向的光学聚焦点分布状态的物镜
摘要:
本发明公开一种校正沿着光束传播方向的光学聚焦点分布状态的物镜,包括沿入射光束方向依次设置的第一镜片、第二镜片、第三镜片、第四镜片、第五镜片、第六镜片和第七镜片;所述第一镜片采用双凹透镜,所述第二镜片采用平凸透镜,所述第三镜片采用双凸透镜,所述第四镜片采用凸平透镜,所述第五镜片和第六镜片均采用弯月透镜,所述第七镜片采用平平透镜。本发明经过设计后的物镜,能够校正沿着光束传播方向的光学聚焦点分布状态,使不同位置的聚焦光斑的光斑能量以及能量集中度一致,保证加工精度。
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