发明授权
- 专利标题: 半导体温控系统
-
申请号: CN202011187794.9申请日: 2020-10-29
-
公开(公告)号: CN112306116B公开(公告)日: 2022-02-18
- 发明人: 胡文达 , 芮守祯 , 曹小康 , 何茂栋 , 李文博
- 申请人: 北京京仪自动化装备技术有限公司
- 申请人地址: 北京市大兴区经济技术开发区凉水河二街8号院14楼A座3层
- 专利权人: 北京京仪自动化装备技术有限公司
- 当前专利权人: 北京京仪自动化装备技术股份有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市大兴区经济技术开发区凉水河二街8号院14楼A座3层
- 代理机构: 北京路浩知识产权代理有限公司
- 代理商 吴欢燕
- 主分类号: G05D23/20
- IPC分类号: G05D23/20
摘要:
本发明实施例提供一种半导体温控系统,包括:循环子系统和压缩机制冷子系统,循环子系统的出口与用户端连接,用户端的出口与压缩机制冷子系统连接,压缩机制冷子系统的出口与循环子系统的入口连接;其中,循环子系统包括:缓冲箱,设置在缓冲箱内的加热桶,以及位于缓冲箱下游的循环泵,循环泵的出口与用户端的入口连接;压缩机制冷子系统包括:第一压缩机、第二压缩机、多个换热器、多个电子控制阀以及多个电磁阀,其中,用户端的出口与换热器连接,第一压缩机、第二压缩机以及多个换热器、电子控制阀和电磁阀能够根据用户端的需求配置成多种循环支路,以实现对多种温度值的控制。实现了循环介质的温度宽温域。
公开/授权文献
- CN112306116A 半导体温控系统 公开/授权日:2021-02-02