半导体温控系统
摘要:
本发明实施例提供一种半导体温控系统,包括:循环子系统和压缩机制冷子系统,循环子系统的出口与用户端连接,用户端的出口与压缩机制冷子系统连接,压缩机制冷子系统的出口与循环子系统的入口连接;其中,循环子系统包括:缓冲箱,设置在缓冲箱内的加热桶,以及位于缓冲箱下游的循环泵,循环泵的出口与用户端的入口连接;压缩机制冷子系统包括:第一压缩机、第二压缩机、多个换热器、多个电子控制阀以及多个电磁阀,其中,用户端的出口与换热器连接,第一压缩机、第二压缩机以及多个换热器、电子控制阀和电磁阀能够根据用户端的需求配置成多种循环支路,以实现对多种温度值的控制。实现了循环介质的温度宽温域。
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