本发明提供一种预离子布植的垂直腔面发射激光器的制作方法，至少包括基底、第一反射镜层、主动区和第二反射镜层，制作方法包括：根据预先在所述第一反射镜层中标定的所述离子布植区域将离子布植到所述第一反射镜层中；在离子布植后，继续在所述第一反射镜层上进行二次外延生长，从而生成所述垂直腔面发射激光器；或，根据预先在所述第一反射镜层中标定的所述离子布植区域将离子布植到预先生成的部分垂直腔面发射激光器；在离子布植后，继续在生成的部分垂直腔面发射激光器上进行二次外延生长，从而所述垂直腔面发射激光器。