本发明公开了一种提高脱硝稀释风量测量准确性的装置，包括通过电连接的分散控制系统和吹扫系统，吹扫系统包括设置在一次热稀释风管内部的流量孔板，其中流量孔板的一端连接安装有电磁振动器的取样管路，取样管路的另一端连接差压式压力变送器，且差压式压力变送器和电磁振动器之间的取样管路贯通连接设置有电磁阀的吹扫管路，吹扫管路的另一端连接压缩空气缓冲罐，压缩空气缓冲罐通过压缩空气减压阀通入压缩空气。本发明通过电磁振动器振动和压缩空气反吹协同作用，提高吹扫效果和脱硝稀释风量测量准确性。