发明公开
CN112349600A 陶瓷盘封装基座叠层设备
审中-实审
- 专利标题: 陶瓷盘封装基座叠层设备
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申请号: CN202011269711.0申请日: 2020-11-13
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公开(公告)号: CN112349600A公开(公告)日: 2021-02-09
- 发明人: 张巍 , 王红娥 , 陈征 , 胡蝶 , 李国安
- 申请人: 浙江新纳陶瓷新材有限公司
- 申请人地址: 浙江省金华市东阳市横店工业区
- 专利权人: 浙江新纳陶瓷新材有限公司
- 当前专利权人: 浙江新纳陶瓷新材有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省金华市东阳市横店工业区
- 代理机构: 杭州斯可睿专利事务所有限公司
- 代理商 林君勇
- 主分类号: H01L21/48
- IPC分类号: H01L21/48 ; H01L21/67
摘要:
本发明涉及一种陶瓷盘封装基座叠层设备,包括工作台,所述工作台上设有第一输送机构和第二输送机构,所述第一输送机构的一侧设有丝网印刷机,所述第一输送机构的另一侧设有转移机构,所述第二输送机构的上方设有预压紧机构,所述第二输送机构的末端上方设有压紧机构,所述预压紧机构包括预压平台和设于预压平台上方的预压块,所述预压平台的底部设有第一多孔吸附板,所述第一多孔吸附板的下方设有第一支撑架,所述第一多孔吸附板的两侧均设有压板,所述第一多孔吸附板的上方设有CCD定位器,所述第一支撑架的两侧均设有第一滑台气缸,所述第一支撑架的底部设有第二滑台气缸。本发明具有可在常温、低压力下有效的批量化完成样品的叠层等特点。
公开/授权文献
- CN112349600B 陶瓷盘封装基座叠层设备 公开/授权日:2024-01-26
IPC分类: