本发明提供了一种直接产生稳定的多光束脉冲紫外激光的装置和方法，该装置包括泵浦源、泵浦耦合系统、增益晶体、Q开关、光学谐振腔、倍频耦合透镜、倍频晶体、整形透镜、微透镜阵列A、和频晶体、分光镜、微透镜阵列B。由于微透镜阵列的分束作用，和频晶体单位面积所承受的紫外光功率密度显著降低，减轻了晶体的紫外诱导损伤，提高了输出紫外激光的功率稳定性，延长了紫外激光的使用寿命。该方法装置简单、操作方便、产生的激光稳定性高，在激光材料加工领域具有较高的实用价值。