本发明提供了临界式空气处理装置，其能产生干燥、常温、净化的高压空气，从而可以用于电子产品腐蚀液的生产，同时整套装置占地面积较小。其包括高压风机，高压风机的进风口连接有初效过滤器，高压风机的出风口依次连接有一级空冷器、分水器一、二级空冷器、分水器二、空气加热器和高效过滤器；一级空冷器包括一级空冷器壳体，一级空冷器壳体由前至后依次设有进风口一、前锥体一、换热段一、分水段一、后锥体一、出风口一，分水段一安装有分水器一；二级空冷器包括二级空冷器壳体，二级空冷器壳体由前至后依次设有进风口二、前锥体二、换热段二、分水段二、后锥体二、出风口二，分水段二安装有分水器二。