本发明公开了基于溶剂气相处理空穴注入层的蓝光OLED及其制备方法，利用溶剂气相处理方法，在阳极上旋涂、印刷、喷涂或蒸镀适当厚度的聚合物、小分子或氧化物空穴注入层薄膜；将所述薄膜置于高浓度有机溶剂或酸蒸气氛围中静置一定时间；取出所述薄膜退火干燥，依次层叠旋涂或蒸镀空穴传输层或电子阻挡层、蓝光发光层、电子传输层或空穴阻挡层、电子注入层和阴极获得完整蓝光OLED器件。本发明提供的方法克服了溶剂掺杂或浸泡刻蚀空穴注入层导致严重漏电流的缺陷。利用气体分子相对温和的微刻蚀作用在薄膜表面形成有利于出光的散射结构和相分离，显著提高了蓝光OLED光耦合和外量子效率。