一种低浓度六氟化硫废气吸附提纯装置，包括进气主管路、第一分子筛罐、第二分子筛罐、排气主管路、回收提纯主管路、储气罐、第一进气支管路和第二进气支管路。本发明适用低浓度六氟化硫废气吸附提纯处理，对低浓度的六氟化硫废气吸附处理，再通过再生处理，将吸附的六氟化硫气体回收，得到较高浓度的六氟化硫气体。本发明实现了低浓度的六氟化硫废气提纯处理，通过处理后得到较高浓度的六氟化硫气体，减少了温室气体的排放，既保护了环境，又节约了资源，经济收益与环境效益显著。