SEB耐性评价方法及SEB耐性评价装置
摘要:
提供无需使用通过使用了加速器等大型的放射线设施的实验得到的数据,就能够对半导体元件的SEB耐性进行评价的SEB耐性评价装置及SEB耐性评价方法。SEB耐性评价方法具有以下步骤:在半导体元件的模型内配置激励光源;以及一边改变向半导体元件的模型的施加电压及激励光源的能量,一边求出使半导体元件热失控的激励光源的能量。
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