一种气压控制装置，包括反应室、气压表、真空泵、第一阀门和控制单元；所述第一阀门设置在所述真空泵和所述反应室之间；所述气压表检测所述反应室内的气压并发送第一信号至所述控制单元，所述控制单元根据所述第一信号发送第二信号至所述第一阀门，控制所述第一阀门的开合以维持所述反应室内的气压在一预定范围内；当所述第一阀门的打开量大于或等于一预设值，所述第一阀门反馈第三信号至所述控制单元，所述控制单元根据所述第三信号发送第四信号至所述真空泵以调整所述真空泵抽取气体的速度。本发明还提供一种应用在该气压控制装置中的气压调节方法，通过调节阀门开合和真空泵的抽气速度的双重调控方式来稳定反应室的气压。