一种温度与应变并行测量的柔性双参量传感器及测量方法
摘要:
本发明一种温度与应变并行测量的柔性双参量传感器及测量方法,所述柔性双参量传感器,包括:柔性基底,共面布置在柔性基体上电极第一流道和电极第二流道;呈间隔设置的电极第一流道和电极第二流道上覆盖柔性薄膜形成对应的微流道结构,微流道结构内灌注液态金属;所述电极第一流道的两端设置液态金属进出端口且作为电极测量点;所述电极第二流道的两端设置液态金属进出端口且作为电极测量点。通过微流道结构内灌注液态金属形成液态金属柔性微电极,可以更好的与柔性基底材料相匹配,避免了出现应力集中等现象,提高传感器的稳定性;传感器的结构仅仅包括两层,结构单元仅有两个微电极,整个装置结构简答、制备简便、成本低。
0/0