本发明涉及一种射频放电等离子体增强吸附速率的装置，包括真空腔室、抽真空系统组件、供气系统组件、电加热系统、射频供电系统及气压采集系统组件。当真空腔室通过球阀及机械泵等抽真空系统组件获得真空并由供气气源及质量流量计等供气系统组件调节气体种类和压强后，置于真空腔室内的吸气剂经电加热丝、供电电源及地线组成的电加热系统激活吸气，此时开启由射频电源、高频同轴线及射频耦合线圈组成的射频供电系统产生等离子体。通过真空计、真空计显示器、数字信息采集卡及电脑等采集系统组件监测腔室内气压的实时变化，其产生的等离子体有效地提高了吸气速率。