用于阳光控制的双氮化钛薄层
摘要:
阳光控制元件(11)利用薄层的组合,包括隔开的氮化钛薄层(16和18),选择地透射比近红外光能量高的可见光的百分比,并具有低的可见光反射率。将氮化钛薄层隔开一个距离,该距离捉进有关可见光发生的相长和相消干的光学退耦。在实施例中,该氮化钛薄层被层状粘合剂(20)所隔开在波长为550nm处的透射率对在波长为1500nm处的透射度之比至少为1.25。各个氮化钛是溅射沉积的。采取了防备以保证各个薄层不会变得太金属性,并且保证过剩的氧不会结合进薄层,因此,控制了氮的流率和线速度。采用大功率和最小可接受的氮流,溅射在块的速率下发生,使衬底污染减到最小。
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