本发明公开了一种用于六氟化硫气体放电降解处理的气体循环装置及方法，包括放电反应器，所述放电反应器一端分别与管道一和管道二连通设置，所述管道一上安装有减压阀一、电磁流量计一和电磁阀四，所述管道二上安装有减压阀二、电磁流量计二和电磁阀五。本发明能够实现精确的气体稀释，实时控制SF6的稀释比例，能够实现SF6降解尾气的循环利用；通过尾气吸收池，可以将分解产生的毒害气体产物吸收，最大程度上保证尾气中只含未降解的SF6以及稀释气体；可以在洗气池和缓冲气室两部分直接取气，方便检测降解效果以及气体循环状态。适用于电力。