一种用于制造线栅偏振器(WGP)的方法可以为WGP提供耐高温、坚固的线、抗氧化性和腐蚀防护。在一实施例中，该方法可以包括：(a)在底部保护层(14L)上提供线(12)的阵列；(b)将跨越线之间的通道(13)的顶部保护层(14U)施加在线上；然后(c)在顶部保护层上施加上部阻挡层(41)，并通过顶部保护层中的可渗透结(42)进入通道。在该实施例的变体中，该方法可以进一步包括在施加顶部保护层之前施加下部阻挡层(31)。在另一变体中，底部保护层和顶部保护层可以包括氧化铝。在另一实施例中，该方法可包括在WGP上施加氨基膦酸酯，随后施加疏水性化学品。